2nm工艺志在必得 日本三大EUV光刻胶巨头巨资扩产


11月3日资讯,euv工艺已成为5nm节点之后不可或缺的关键技术。目前全球仅荷兰asml能够制造euv光刻机,而在euv光刻胶领域,日本则展现出强大优势。面向2nm及更先进制程,日本三大化工巨头正加速产能扩张。

东京应化工业(Tokyo Ohka Kogyo)近日宣布,将投资200亿日元(约1.3亿美元)在韩国平泽建设一座光刻胶生产基地,计划于2030年投入运营。

平泽聚集了三星、SK海力士等主要半导体制造商,是全球重要的芯片生产中心。新工厂建成后,东京应化的韩国产能预计将提升三至四倍,显著增强其本地供应能力,以更好响应客户需求。

此外,该公司还将在韩国追加120亿日元投资,兴建一座高纯度化学品工厂,服务于先进半导体制造工艺。这一系列动作被解读为日本材料企业提前卡位2nm及以下节点的战略布局。

与此同时,另一家EUV光刻胶领军企业JSR也已启动在韩国的MOR型光刻胶工厂建设,预计将于明年年底前实现量产。

而百年化学企业Adeka(阿德卡)则选择在日本本土扩产,投入32亿日元建设MOR型光刻胶生产线,目标在2028年4月开始批量生产。

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2nm工艺志在必得 日本三大EUV光刻胶巨头巨资扩产

MOR型光刻胶基于金属氧化物体系,专为应对EUV光刻的高精度需求而设计,目前我国也在积极推进MOR光刻胶的研发与产业化进程。

尽管日本本土尚无2nm晶圆代工产线,但其在半导体材料领域长期占据全球超91%的市场份额。通过积极布局海外生产基地,日本企业正全力抢占未来先进制程的关键材料高地。

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 2025-11-03

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